过氧化氢蒸汽（VHP）灭菌时，氮气作为载体需满足无油、无颗粒（＜0.1μm）；

系统设计：316L不锈钢管路+双层烧结过滤器+在线总有机碳（TOC）监测；

验证案例：某疫苗生产线通过FDA审计，氮气微生物限度＜0.1CFU/m³。